前驱体温度对激光化学气相沉积YBa₂Cu₃O_7-δ超导薄膜结构及性能的影响

更新时间:2023-05-28

【摘要】采用激光化学气相沉积法在Al2O3基底上以49μm·h-1的沉积速率高速制备了c-轴取向的YBa2Cu3O7-δ薄膜,其中,激光功率为133 W,沉积温度1103 K,腔体压强800 Pa。研究了前驱体蒸发温度及薄膜退火温度对薄膜电学性能的影响。研究表明,Ba、Cu、Y前驱体加热温度分别为603、478、459 K时制备的薄膜在经813 K高温热处理12 h后,临界温度可达83 K。

【关键词】 激光化学气相沉积 7-δ薄膜 Mjg5ODVoOFdqZTNOVzNsaTdUeDhTWGZtMmhCRGY4RGhNN09iQ09SdkZDbmtXNzdNSVYwV2JCQ0tQQy9xSE1EOUhhNmp0NGhZOA==) &#xA ">YBa2Cu3O7-δ薄膜 高速沉积

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